euv光刻机的来龙去脉

euv光刻机是荷兰阿斯麦尔生产的，但其核心技术起源于美国EUV LLC联盟。

阿斯麦尔收购了很多光刻机的核心技术以及掌握核心技术的公司。比如在过去的十年里，ASML收购了光刻机激光器的供应商Cymer。实际上Cymer是EUV光源的开发者，这对于生产比较先进的光刻机来说是非常关键的。此外，英特尔是EUV LLC联盟的创始人之一，他们认为获得EUV这种新技术是芯片尺寸继续缩小的必要条件，这就是他们创立EUV LLC联盟的原因。美国很多公司都是LLC联盟的一部分，他们请ASML研发这项技术，是因为他们想把芯片技术向前推进。如果ASML研究该技术，他们会提供资金支持。如果ASML成功地制造出了机器，他们也会购买。